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发明名称 REACTOR
摘要
申请公布号 JPS6381821(A) 申请公布日期 1988.04.12
申请号 JP19860224927 申请日期 1986.09.25
申请人 CANON INC 发明人 SUGATA MASAO;OMI KAZUAKI;DEN TORU;OSABE KUNIJI
分类号 H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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