| 发明名称 |
FORMATION OF RESIST PATTERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6379322(A) |
申请公布日期 |
1988.04.09 |
| 申请号 |
JP19860223538 |
申请日期 |
1986.09.24 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
IMAI MASAMITSU;SHIRASU TATSUMI;MIZUTANI TETSUYA |
| 分类号 |
G03F7/11;G03C1/00;G03F7/00;G03F7/09;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
G03F7/11 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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