| 发明名称 |
PATTERN INSPECTING INSTRUMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6378010(A) |
申请公布日期 |
1988.04.08 |
| 申请号 |
JP19860220854 |
申请日期 |
1986.09.20 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
IWATA SATOSHI;ANDO MORITOSHI;YAMAKAWA YASUYUKI |
| 分类号 |
H01L21/66;G01B11/24;G01N21/88;G01N21/956;H05K3/00 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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