| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURE USING MOLECULAR BEAM EPITAXY WITH SOURCE TEMPERATURE CONTROL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0168071(B1) |
申请公布日期 |
1988.04.06 |
| 申请号 |
EP19850200730 |
申请日期 |
1985.05.10 |
| 申请人 |
PHILIPS ELECTRONIC AND ASSOCIATED INDUSTRIES LIMITED;N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN |
发明人 |
FOXON, CHARLES THOMAS |
| 分类号 |
H01L21/268;C30B23/06;H01L21/203;H01S5/00;(IPC1-7):C30B23/06 |
主分类号 |
H01L21/268 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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