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发明名称 CHEMICAL VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6372886(A) 申请公布日期 1988.04.02
申请号 JP19860215772 申请日期 1986.09.16
申请人 HITACHI LTD 发明人 EMOTO YUTAKA;ISHII YOSHIAKI
分类号 H01L21/285;C23C16/52;H01L21/205 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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