发明名称 INSTALLATION FOR FLOATING TRANSPORT AND PROCESSING OF WAFERS.
摘要 Une installation (10) destinée au traitement, essentiellement dans des conditions de flottage, de tranches (12) disposées dans une série de modules de traitement (18, 20, 22, 24 et 26) au moins partiellement isolés, permet le transfert de tranches successives (12) à travers des passages de tunnel d'interface (36) dans des conditions de flottage.
申请公布号 EP0261145(A1) 申请公布日期 1988.03.30
申请号 EP19870901131 申请日期 1987.02.02
申请人 BOK, EDWARD;BARLAG, RONALD J. W. 发明人 BOK, EDWARD
分类号 H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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