发明名称 PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6369233(A) 申请公布日期 1988.03.29
申请号 JP19860214829 申请日期 1986.09.10
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MINAMI TOSHIHIKO;NAKANISHI KOICHIRO;HANAZAKI MINORU;ODERA HIROKI
分类号 H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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