发明名称 SUBSTRATE HOLDER FOR LOW POWER MULTISHEET GROWTH
摘要
申请公布号 JPS6365616(A) 申请公布日期 1988.03.24
申请号 JP19860210347 申请日期 1986.09.05
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 NAKANISHI KAZUO;YAMAMOTO TAKATOSHI
分类号 H01L21/26;H01L21/203 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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