| 摘要 |
Ein Oberflächenprüfgerät (1) enthält ein Gehäuse (2), in dem eine Lichtquelle (37) im Fokus eines Kollimators (36) angeordnet ist. Außerdem ist im Fokus des Kollimators (36) ein Lichtdetektor (41) vorgesehen, wobei das von der Lichtquelle (37) zum Kollimator (36) laufende und vom Kollimator (36) zum Lichtdetektor (41) zurücklaufende Licht mittels eines dazwischen angeordneten Strahlenteilers (38) getrennt wird. Das aus dem Kollimator (36) austretende Licht wird mit Hilfe eines Objektivs (21) auf der zu prüfenden Oberfläche fokussiert, von wo es in das Objektiv (21) zurückgeworfen wird, so daß auf dem Lichtdetektor (41) ein Bild des erzeugten Leuchtflecks entsteht. Zur Fokussierung ist das Objektiv (21) relativ gegenüber der zu prüfenden Oberfläche bewegbar, wobei die notwendige Auslenkbewegung ein Maß für das Oberflächenprofil ist, das mit Hilfe eines an dem Objektiv (21) vorgesehenen Wegaufnehmers (16) erfaßt wird. Um auch die Oberfläche in Bohrungen oder an räumlich ähnlich begrenzten Stellen messen zu können, ist in dem Gehäuse (2) ein rohrförmiger,aus dem Gehäuse (2) herausragender Arm (8) schwenkbar gelagert, durch den das Licht hindurchläuft und aus dem es seitlich bezüglich der Längsachse des Armes (8) austritt, während der Kollimator (36), die Lichtquelle (37) und der Lichtdetektor (39) am rückwärtigen Ende innerhalb des Gehäuses (2) am Arm (8) befestigt sind. Innerhalb des Gehäuses (2) greift auch die Antriebseinrichtung (15) an dem Arm (8) an und es befindet sich dort der Wegaufnehmer (16), der die zum Fokussieren notwendige Schwenkbewegung des Armes (8) erfaßt.
|
