发明名称 PRODUCTION OF COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPS6355191(A) 申请公布日期 1988.03.09
申请号 JP19860197607 申请日期 1986.08.22
申请人 NEC CORP 发明人 USUI AKIRA;WATANABE HISATSUNE
分类号 C30B25/02;C30B25/18;C30B29/40;H01L21/205 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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