发明名称 IMPROVED MICRO-ELECTRICAL-MECHANICAL VARIABLE CAPACITOR DEVICE AND METHOD OF MAKING SAME
摘要
申请公布号 KR100896612(B1) 申请公布日期 2009.05.08
申请号 KR20077015793 申请日期 2007.07.10
申请人 发明人
分类号 H01G5/00;H01G13/00 主分类号 H01G5/00
代理机构 代理人
主权项
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