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发明名称 PRODUCTION APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6341056(A) 申请公布日期 1988.02.22
申请号 JP19860185745 申请日期 1986.08.06
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OGURI YOSHIHISA;ISHIHARA KAORU
分类号 H01L23/50 主分类号 H01L23/50
代理机构 代理人
主权项
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