| 发明名称 |
PROCEDIMENTO PER LA CORROSIONE CHIMICA DI PELLICOLE DI LEGA ALLUMINIO/RAME NELLA PRODUZIONE DI CIRCUITI INTEGRATI |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IT1190491(B) |
申请公布日期 |
1988.02.16 |
| 申请号 |
IT19860047642 |
申请日期 |
1986.02.11 |
| 申请人 |
OERLIKON-BUHRLE USA INC |
发明人 |
MAJEWSKI HENRY A;LANDAU RICHARD F |
| 分类号 |
H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L/ |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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