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发明名称
SEMICONDUCTOR TESTER
摘要
申请公布号
JPS6310539(A)
申请公布日期
1988.01.18
申请号
JP19860156528
申请日期
1986.07.01
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
ABE KEIKO
分类号
G01R1/067;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66
主分类号
G01R1/067
代理机构
代理人
主权项
地址
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