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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号
JPS6310519(A)
申请公布日期
1988.01.18
申请号
JP19860156521
申请日期
1986.07.01
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
NAKAJIMA MORIYOSHI
分类号
H01L21/22
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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