发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS639926(A) 申请公布日期 1988.01.16
申请号 JP19860154460 申请日期 1986.07.01
申请人 SEIKO INSTR & ELECTRONICS LTD 发明人 OSANAI JUN;HOSAKA TAKASHI;IMAI HIROSHI
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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