发明名称 SILICON SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP0231656(A3) 申请公布日期 1987.12.23
申请号 EP19860310129 申请日期 1986.12.24
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 SAITOH, TADASHI;MIYAZAKI, TAKAO;KOKUNAI, SHIGERU
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/161;H01L29/267;H01L29/732;H01L29/737;(IPC1-7):H01L29/267;H01L29/72;H01L29/86 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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