ELECTRON-BEAM PROBING OF PHOTODIODES

摘要

Procédé et dispositif d'essai de réseaux de photodiodes utilisant un faisceau d'électrons. Les diodes sont chargées à des intervalles successifs en suivant la courbe de constante de temps RC pour développer des tensions s'accroissant graduellement à la fin des intervalles de temps successifs. La tension et le courant de la diode sont mesurés à la fin de chaque intervalle et les données résultantes sont utilisées pour développer une caractéristique courant-tension pour chaque diode.