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发明名称 VERFAHREN ZUM EPITAKTISCHEN ABSCHEIDEN DUENNER EINKRISTALLINER HALBLEITERSCHICHTEN AUS PSEUDOBINAEREM HALBLEITERMATERIAL AUF EINEM EINKRISTALLINEN SUBSTRAT
摘要
申请公布号 DE3617404(A1) 申请公布日期 1987.11.26
申请号 DE19863617404 申请日期 1986.05.23
申请人 TELEFUNKEN ELECTRONIC GMBH 发明人 GEIBEL,CHRISTOPH,DR.;MAIER,HORST,DR.;ZIMMERMANN,HARALD,DR.
分类号 C30B19/06;(IPC1-7):C30B19/00;C23C2/00;C23C2/06;C23C2/32;C30B29/10 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
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