| 发明名称 |
VALVE HAVING WAFER OPERATING ARM INCORPORATED THEREIN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS62260060(A) |
申请公布日期 |
1987.11.12 |
| 申请号 |
JP19870089967 |
申请日期 |
1987.04.14 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOC INC |
发明人 |
FUREDERITSUKU PII REIMAN;FUIRITSUPU EMU HOBUSON;POORU EICHI DEITSUKU |
| 分类号 |
B65G1/00;B65G49/07;C23C14/56;H01L21/00;H01L21/677;H01L21/687 |
主分类号 |
B65G1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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