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经营范围
发明名称
FORMING PATTERN OF TWO-LAYER METAL FILM
摘要
申请公布号
GB8723519(D0)
申请公布日期
1987.11.11
申请号
GB19870023519
申请日期
1987.10.07
申请人
MITSUBISHI DENKI KK
发明人
分类号
H01L21/3213;C23C14/04;H01L21/027;H01L21/033;H01L21/266;H01L21/338
主分类号
H01L21/3213
代理机构
代理人
主权项
地址
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