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发明名称 MANUFACTURE OF TANTALUM THIN FILM RESISTOR
摘要
申请公布号 JPS62243301(A) 申请公布日期 1987.10.23
申请号 JP19860085005 申请日期 1986.04.15
申请人 NEC CORP 发明人 SUDA YASUSHI
分类号 H01C17/06;H01L27/01 主分类号 H01C17/06
代理机构 代理人
主权项
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