| 发明名称 |
CRYSTALLINE DEPOSITED FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU7078687(A) |
申请公布日期 |
1987.10.08 |
| 申请号 |
AU19870070786 |
申请日期 |
1987.03.31 |
| 申请人 |
CANON K.K. |
发明人 |
JINSHO MATSUYAMA;YUTAKA HIRAI;MASAO UEKI;AKIRA SAKAI |
| 分类号 |
C23C16/04;C23C16/24;C23C16/44;C30B25/18;H01L21/20;H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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