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发明名称 VERFAHREN ZUR DEFEKTNUKLEATION IN SILICIUM-SCHEIBEN
摘要
申请公布号 DD249998(A1) 申请公布日期 1987.09.23
申请号 DD19860291345 申请日期 1986.06.17
申请人 VEB SPURENMETALLE FREIBERG,DD 发明人 REICHEL,JOHANNES,DD;FRICKE,PETER,DD;KIRSCHT,FRITZ G.,DD;WOLLSCHLAEGER,KLAUS,DD;KLOSE,HOLGER,DD
分类号 H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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