PROCESS FOR MAKING HIGH DIELECTRIC CONSTANT NITRIDE BASED MATERIALS AND DEVICES USING THE SAME,申请号EP19840109401-传众专利搜索

发明名称	PROCESS FOR MAKING HIGH DIELECTRIC CONSTANT NITRIDE BASED MATERIALS AND DEVICES USING THE SAME
摘要
申请公布号	EP0137196(A3)	申请公布日期	1987.08.19
申请号	EP19840109401	申请日期	1984.08.08
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION	发明人	ROBERTS, STANLEY;RYAN, JAMES GARDNER
分类号	H01L27/04;H01G4/10;H01G4/20;H01L21/318;H01L21/822;(IPC1-7):H01G4/08;H01L21/31	主分类号	H01L27/04
代理机构		代理人
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