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发明名称 METHOD OF PRODUCING A METALLIC THIN FILM ON A SEMICONDUCTOR BODY
摘要
申请公布号 EP0064805(B1) 申请公布日期 1987.08.19
申请号 EP19820301513 申请日期 1982.03.23
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 ITO, TAKASHI
分类号 H01L21/28;C23C16/12;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/60 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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