发明名称 FABRICATING INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 IE52185(B1) 申请公布日期 1987.08.05
申请号 IE19810002428 申请日期 1981.10.15
申请人 ITT INDUSTRIES, INC. 发明人
分类号 H01L21/3063;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/465 主分类号 H01L21/3063
代理机构 代理人
主权项
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