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发明名称
摘要
申请公布号 JPS62118431(U) 申请公布日期 1987.07.28
申请号 JP19860005128U 申请日期 1986.01.20
申请人 发明人
分类号 G01R31/26;H01L21/56;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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