| 发明名称 |
MANUFACTURE OF HIGH DENSITY INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS62131561(A) |
申请公布日期 |
1987.06.13 |
| 申请号 |
JP19860279518 |
申请日期 |
1986.11.21 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
HAIKE GIIRITSUSHIYU;FURANTSU NETSUPURU |
| 分类号 |
H01L27/092;H01L21/3215;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/088;H01L29/49 |
主分类号 |
H01L27/092 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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