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发明名称 Verfahren zur Verbesserung der elektrischen Eigenschaften von Halbleiteranordnungen mit Isolierschicht
摘要
申请公布号 DE1589901(A1) 申请公布日期 1970.10.22
申请号 DE19671589901 申请日期 1967.09.21
申请人 HITACHI LTD. 发明人 ONE,MINORU
分类号 H01L21/3105;H01L21/56;H01L29/00 主分类号 H01L21/3105
代理机构 代理人
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