| 发明名称 |
STRUCTURE AND PROCESS FOR LIFT-OFF WAFER PROCESSING |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0100736(A3) |
申请公布日期 |
1987.05.20 |
| 申请号 |
EP19830401591 |
申请日期 |
1983.08.01 |
| 申请人 |
FAIRCHILD CAMERA & INSTRUMENT CORPORATION |
发明人 |
MILGRAM, ALVIN |
| 分类号 |
C08G73/00;C08G73/10;C08G73/14;G03F7/09;H01L21/027;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
C08G73/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
