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发明名称
摘要
申请公布号	FR2078594(A5)	申请公布日期	1971.11.05
申请号	FR19710004971	申请日期	1971.02.15
申请人	SIEMENS AG	发明人
分类号	C30B31/02;H01L21/00;(IPC1-7):B01J17/00;H01L11/00	主分类号	C30B31/02
代理机构		代理人
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