| 发明名称 |
QUARTZ GLASS REACTION TUBE FOR HEAT-TREATMENT OF SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6296349(A) |
申请公布日期 |
1987.05.02 |
| 申请号 |
JP19850234615 |
申请日期 |
1985.10.22 |
| 申请人 |
TOSHIBA CERAMICS CO LTD |
发明人 |
MATSUO HIDEYASU;GOTO IWAO;NOZAWA TATSUO;SHIDA TAKESHI |
| 分类号 |
C03C17/22;C30B31/10;H01L21/22 |
主分类号 |
C03C17/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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