发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPS6293930(A) |
申请公布日期 |
1987.04.30 |
申请号 |
JP19860237264 |
申请日期 |
1986.10.07 |
申请人 |
PHILIPS GLOEILAMPENFAB:NV |
发明人 |
HERUMANUSU REONARUDOUSU PIIKU |
分类号 |
H01L29/78;H01L21/033;H01L21/265;H01L21/76;H01L29/41;H01L29/423 |
主分类号 |
H01L29/78 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|