| 发明名称 |
A molecular beam epitaxial growth apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2181747(A) |
申请公布日期 |
1987.04.29 |
| 申请号 |
GB19860021746 |
申请日期 |
1986.09.10 |
| 申请人 |
* SHARP KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
TAKAHIRO * SUYAMA;KOHSEI * TAKAHASHI;SABURO * YAMAMOTO;TOSHIRO * HAYAKAWA;MASAFUMI * KONDO |
| 分类号 |
H01L21/203;C30B23/02;(IPC1-7):C23C14/28 |
主分类号 |
H01L21/203 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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