| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR HEATING SUBSTRATE IN AXIALLY SYMMETRIC EPITAXIAL GROWING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6293378(A) |
申请公布日期 |
1987.04.28 |
| 申请号 |
JP19860237811 |
申请日期 |
1986.10.06 |
| 申请人 |
EPUSHIRON LTD PAATONAASHITSUPU |
发明人 |
MAKUDONARUDO ROBINSON;RONARUDO DEI BEHII;UIIBU BEE DEBEERU;UEIN ERU JIYONSON |
| 分类号 |
C23C16/46;C30B25/10;H01L21/20 |
主分类号 |
C23C16/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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