| 发明名称 |
Plasma developable photoresist compositions containing N-substituted 3-vinylcarbazoles |
| 摘要 |
Disclosed is a photoresist using a 3-vinylcarbazole as the photopolymerizable monomer.
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| 申请公布号 |
US4659648(A) |
申请公布日期 |
1987.04.21 |
| 申请号 |
US19850789601 |
申请日期 |
1985.10.21 |
| 申请人 |
HERCULES INCORPORATED |
发明人 |
TISE, FRANK P. |
| 分类号 |
G03F7/027;G03F7/075;(IPC1-7):G03C1/70;G03C1/76;G03C1/94;G03C5/16 |
主分类号 |
G03F7/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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