发明名称 PROBE CARD
摘要
申请公布号 JPS6286836(A) 申请公布日期 1987.04.21
申请号 JP19850228092 申请日期 1985.10.14
申请人 NEC CORP 发明人 YASUDA TOSHIMI
分类号 H01L21/66;G01R1/073;G01R31/26 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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