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发明名称 WAFER CONVEYER
摘要
申请公布号 JPS6283949(A) 申请公布日期 1987.04.17
申请号 JP19850225061 申请日期 1985.10.07
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HAYASHI ICHIRO;BANJO TOSHINOBU
分类号 B65H5/14;B65G49/07 主分类号 B65H5/14
代理机构 代理人
主权项
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