发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6276716(A) 申请公布日期 1987.04.08
申请号 JP19850218357 申请日期 1985.09.30
申请人 NEC CORP 发明人 KUMAMOTO HIROSHI
分类号 H01L21/20;H01L21/263 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址