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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6253559(U) 申请公布日期 1987.04.02
申请号 JP19850145940U 申请日期 1985.09.25
申请人 发明人
分类号 G01R31/26;G01R31/302;H01J37/20;H01J37/28;H01L23/32;(IPC1-7):H01J37/20 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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