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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS6240737(A) 申请公布日期 1987.02.21
申请号 JP19850179415 申请日期 1985.08.16
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAJI RYOKICHI;KAKEHI YUTAKA
分类号 H01L21/677;H01L21/67;H01L21/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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