发明名称 METHOD FOR RECOGNIZING SEMICONDUCTOR CHIP
摘要
申请公布号 JPS6236836(A) 申请公布日期 1987.02.17
申请号 JP19850176783 申请日期 1985.08.09
申请人 NICHIDEN MACH LTD 发明人 HONDA MOTOHARU
分类号 H01L21/66;G01B11/00 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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