发明名称 PROCEDIMENTO PER IL TRATTAMENTO SUPERFICIALE GETTERIZZANTE IL LATO DORSALE DI PIATRINE DI SEMICONDUTTORI
摘要
申请公布号 IT1157228(B) 申请公布日期 1987.02.11
申请号 IT19820049316 申请日期 1982.10.20
申请人 WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT F. ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH 发明人 BUCHNER ALFRED;KUHN-KUHNENFELD FRANZ;AUER WALTER
分类号 H01L21/304;H01L21/322;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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