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发明名称 PRODUCING MULTILAYER WIRING STRUCTURE
摘要
申请公布号 GB8700065(D0) 申请公布日期 1987.02.11
申请号 GB19870000065 申请日期 1987.01.05
申请人 HITACHI CHEMICAL CO LTD 发明人
分类号 H01L21/768;G03F7/09;H01B3/30;H01L21/31;H01L21/312;H01L21/3205;H01L21/48;H01L23/522;H05K1/00;H05K1/03 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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