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经营范围
发明名称
MOLECULAR BEAM EPITAXIAL GROWING PROCESS
摘要
申请公布号
JPS6223104(A)
申请公布日期
1987.01.31
申请号
JP19850163715
申请日期
1985.07.23
申请人
NEC CORP
发明人
ARAI KENICHI
分类号
H01L21/203;H01L21/26
主分类号
H01L21/203
代理机构
代理人
主权项
地址
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