发明名称 |
SPUTTERING FORMATION METHOD FOR TUNGSTEN FILM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS6222430(A) |
申请公布日期 |
1987.01.30 |
申请号 |
JP19850161089 |
申请日期 |
1985.07.23 |
申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
YOSHIKAWA KOTA;HIDEJIMA KEIZO;SATO YASUHISA |
分类号 |
C23C14/34;H01L21/28;H01L21/285 |
主分类号 |
C23C14/34 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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