| 发明名称 |
EXPOSING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6220316(A) |
申请公布日期 |
1987.01.28 |
| 申请号 |
JP19850159278 |
申请日期 |
1985.07.18 |
| 申请人 |
NANBA SUSUMU;SASAKI TAIZO;TAKAI MIKIO |
发明人 |
SASAKI TAIZO;TAKAI MIKIO;NANBA SUSUMU |
| 分类号 |
G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H05H13/04 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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