发明名称 HEAT TREATING METHOD FOR SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPS6213034(A) 申请公布日期 1987.01.21
申请号 JP19850153035 申请日期 1985.07.10
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OSAWA AKIRA;HONDA KOICHIRO;TAKIZAWA RITSUO
分类号 H01L21/324;H01L21/322 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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