| 发明名称 |
PLASMA-PROCESSING APPARATUS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS6212129(A) |
申请公布日期 |
1987.01.21 |
| 申请号 |
JP19850150206 |
申请日期 |
1985.07.10 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SERIZAWA MASAYOSHI;OTSUBO TORU;OHARA KAZUHIRO;SHIBATA FUMIO |
| 分类号 |
H01L21/302;C23F1/08;C23F4/00;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
